[发明专利]处理器以及部件检查装置

摘要

本发明提供一种处理器，该处理器具备贮藏罐，其贮藏液氮；供给路，其从贮藏罐向第一梭的内部通路供给制冷剂；阀，其开闭供给路；以及热交换器，其具有比供给路大的流路截面积的气化室，液氮在该气化室发生气化。由此，由于各气化室被预先气化的氮气充满，所以能够缓和与后续的液氮的气化相伴随的压力变动。另外，因为向各内部通路供给氮气，所以还能够抑制收容卡格的过度冷却。

主权项

一种处理器，其特征在于，具备：机器人，其输送部件；工作台，其支承所述部件；供给部，其供给液化的气体亦即液化气体；供给路，其将所述供给部与所述工作台内的通路连结；阀，其开闭所述供给路；加热器，其加热所述工作台；温度传感器，其检测所述工作台的温度；控制部，其以所述温度传感器的检测温度成为规定温度的方式控制所述加热器的输出以及所述阀的开闭；以及气化容器，其夹设于所述供给路的中途，具有比所述供给路大的流路截面积并使液化气体气化，所述通路具有第一内部通路以及第二内部通路，所述气化容器具有第一气化室和第二气化室，所述第一内部通路与所述第一气化室连接，所述第二内部通路与所述第二气化室连接，所述第一气化室以及所述第二气化室配置为能够相互热交换。