[发明专利]一种雪崩光电探测器和提高雪崩光电探测器高频特性的方法无效

专利信息
申请号: 201310049958.5 申请日: 2013-02-08
公开(公告)号: CN103077996A 公开(公告)日: 2013-05-01
发明(设计)人: 李彬;韩勤;杨晓红 申请(专利权)人: 中国科学院半导体研究所
主分类号: H01L31/107 分类号: H01L31/107
代理公司: 中科专利商标代理有限责任公司 11021 代理人: 宋焰琴
地址: 100083 北*** 国省代码: 北京;11
权利要求书: 查看更多 说明书: 查看更多
摘要: 发明公开了一种雪崩光电探测器和提高雪崩光电探测器高频特征的方法,所述雪崩光电探测器用于探测目标探测光,并包括纵向依次排列的吸收层(8)、第一电荷层(61)、倍增层(5)、第二电荷层(62)和渡越层。吸收层(8)用于吸收目标探测光,将目标探测光的光子转化为光生自由载流子对;第一电荷层(6)用于调控器件内部电场分布;倍增层(5)用于使进入其中的自由载流子引发雪崩效应,产生雪崩载流子对,雪崩载流子对中的一种类型的载流子经由所述渡越层(9)纵向漂移至所述雪崩光电探测器的一端。本发明能更好地调节雪崩光电探测器的电容和载流子渡越时间,有利于其高频特性的提高。
搜索关键词: 一种 雪崩 光电 探测器 提高 高频 特性 方法
【主权项】:
一种雪崩光电探测器,用于探测目标探测光,包括纵向依次排列的吸收层(8)、第一电荷层(61)和倍增层(5),所述吸收层(8)用于吸收目标探测光,将目标探测光的光子转化为光生自由载流子对;所述第一电荷层(6)用于调控器件内部电场分布;所述倍增层(5)用于使进入其中的自由载流子引发雪崩倍增效应,产生雪崩载流子对;其特征在于:所述雪崩光电探测器还包括渡越层(9),所述渡越层(9)与所述吸收层(8)分别位于倍增层(5)的两侧,所述雪崩载流子对中的一种类型的载流子经由所述渡越层(8)纵向漂移至所述雪崩光电探测器的一端。
下载完整专利技术内容需要扣除积分,VIP会员可以免费下载。

该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于中国科学院半导体研究所,未经中国科学院半导体研究所许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服

本文链接:http://www.vipzhuanli.com/patent/201310049958.5/,转载请声明来源钻瓜专利网。

×

专利文献下载

说明:

1、专利原文基于中国国家知识产权局专利说明书;

2、支持发明专利 、实用新型专利、外观设计专利(升级中);

3、专利数据每周两次同步更新,支持Adobe PDF格式;

4、内容包括专利技术的结构示意图流程工艺图技术构造图

5、已全新升级为极速版,下载速度显著提升!欢迎使用!

请您登陆后,进行下载,点击【登陆】 【注册】

关于我们 寻求报道 投稿须知 广告合作 版权声明 网站地图 友情链接 企业标识 联系我们

钻瓜专利网在线咨询

周一至周五 9:00-18:00

咨询在线客服咨询在线客服
tel code back_top