[发明专利]一种大径高比超精密液体静压转台

摘要

一种大径高比超精密液体静压转台，属于超精密制造装备技术领域。以满足加工高精度大口径非球面光学零件的大型超精密机床要求。上、下浮节流器安装于上、下浮止推板上，上浮止推板与转台底座固接，下浮止推板通过内隔环与转台底座固接，下浮止推板置于上浮板的环形槽内，径向轴瓦通过下浮止推板和内隔环与转台底座固接，主轴与上浮板固接，液压油经节流器节流在上浮板和上浮止推板之间形成上浮液体静压止推油膜，在下浮板和下浮止推板之间形成下浮静压止推油膜，在径向轴瓦和主轴之间形成径向静压支承油膜，从而形成轴向闭式液体静压平面圆环止推轴承和径向液体静压圆柱轴承。本发明用于加工高精度大口径非球面光学零件的大型超精密机床。

主权项

一种大径高比超精密液体静压转台，所述超精密液体静压转台包括转台底座（1）、电机座（2）、接油盘（3）、力矩电机（4）、连接盘（5）、角度编码器（6）、连接轴（7）、编码器座（8）、下浮板（11）、上浮止推板（12）、上浮板（14）、下浮止推板（15）、内隔环（16）、径向轴瓦（17）、主轴（18）、定位安装轴（19）、进油管路（23）、数个径向节流器（20）、数个下浮节流器（21）及数个上浮节流器（22）；其特征在于：上浮止推板（12）、下浮板（11）、下浮止推板（15）及内隔环（16）均为圆环形，上浮板（14）的横截面为圆形，上浮板（14）的下平面设有环形槽，环形槽的中心线与上浮板（14）的中心线重合，下浮止推板（15）置于上浮板（14）的环形槽内，上浮板（14）的下平面中心处设有中心沉孔（14‑2），上浮板（14）的上平面中心处设有中心阶梯沉孔（14‑1），定位安装轴（19）置于上浮板（14）的中心阶梯沉孔（14‑1）内，转台底座（1）设置在上浮板（14）的下方，内隔环（16）设置在转台底座（1）与下浮止推板（15）之间，转台底座（1）的中心处设有与径向轴瓦（17）相配合的轴孔，转台底座（1）的轴孔与上浮板（14）的中心沉孔（14‑2）及内隔环（16）同轴设置，主轴（18）设置在转台底座（1）的轴孔、内隔环（16）及上浮板（14）的中心沉孔（14‑2）内，径向轴瓦（17）套装在主轴（18）上，且径向轴瓦（17）套装在转台底座（1）的轴孔及内隔环（16）内，内隔环（16）的外侧由内至外依次套装有下浮板（11）和上浮止推板（12），上浮板（14）分别与下浮板（11）和主轴（18）固定连接，上浮止推板（12）与转台底座（1）固定连接，下浮止推板（15）与内隔环（16）和径向轴瓦（17）固定连接，内隔环（16）与转台底座（1）固定连接；上浮止推板（12）上平面沿圆周方向均布设有数个第一油腔（12‑1）和数个第一轴向安装孔，每个第一轴向安装孔内装有一个上浮节流器（22），下浮止推板（15）下平面沿圆周方向均布设有数个第二油腔（15‑1）和数个第二轴向安装孔，每个第二轴向安装孔内装有一个下浮节流器（21），径向轴瓦（17）的内圆面沿圆周方向均布设有数个第三油腔（17‑1）和数个径向安装孔，每个径向安装孔内装有一个径向节流器（20），数个上浮节流器（22）、数个下浮节流器（21）和数个径向节流器（20）均与安装在转台底座（1）上的进油管路（23）连通，液压油经进油管路（23）和上浮节流器（22）进入相应的第一油腔（12‑1），并在上浮止推板（12）和上浮板（14）之间的轴向间隙形成上浮液体静压止推油膜，由上浮板（14）、上浮节流器（22）和上浮止推板（12）组成上浮液体静压止推轴承，液压油经进油管路（23）和下浮节流器（21）进入相应的第二油腔（15‑1），并在下浮止推板（15）和下浮板（11）之间的轴向间隙形成下浮液体静压止推油膜，由下浮板（11）、下浮节流器（21）和下浮止推板（15）组成下浮液体静压止推轴承，上浮液体静压止推轴承和下浮液体静压止推轴承 组成闭式环面液体静压止推轴承，液压油经进油管路（23）和径向节流器（20）进入相应的第三油腔（17‑1），并在径向轴瓦（17）和主轴（18）之间的径向间隙形成径向液体静压支承油膜，由径向轴瓦（17）、径向节流器（20）和主轴（18）组成径向液体静压轴承；径向轴瓦（17）下端安装有接油盘（3），主轴（18）下端通过连接盘（5）与力矩电机（4）的转子固定连接，主轴（18）下端通过连接轴（7）与角度编码器（6）的转子固定连接，角度编码器（6）的定子通过编码器座（8）固定连接于力矩电机（4）的定子，力矩电机（4）的定子通过电机座（2）固定连接于转台底座（1）的下平面。