[发明专利]气体注入器和具有气体注入器的膜沉积设备

摘要

本发明提供一种气体注入器和具有所述气体注入器的膜沉积设备。所述气体注入器包含主体、供应孔、注入孔以及分配板。所述主体经配置以在其中提供内部空间。所述供应孔形成于所述主体的上表面中以与所述内部空间连通并接收原材料。所述注入孔形成于所述主体的下表面中以与所述内部空间连通并注入所述原材料。所述分配板安置在所述主体的所述内部空间中。通孔形成于所述分配板中。所述分配板安置为相对于水平平面以预定角度倾斜。所述气体注入器可均匀注入所述原材料并提高具有粉末形式的原材料的气化效率。

主权项

一种气体注入器，其包括：加热单元，其经配置以将原材料气化；以及注入单元，其包括提供于所述加热单元下方的内部空间，其中来自所述加热单元的气化原材料被接收到所述内部空间中并保持在其中，且气体注入通路与所述内部空间连通从而以穿透方式朝向所述气体注入单元的下表面延伸，其中所述气体注入通路的一个末端形成于所述内部空间的侧壁上。