[发明专利]照明光学装置、曝光装置及元件制造方法有效
| 申请号： | 201310052891.0 | 申请日： | 2008-10-10 |
| 公开（公告）号： | CN103149807A | 公开（公告）日： | 2013-06-12 |
| 发明（设计）人： | 广田弘之 | 申请（专利权）人： | 株式会社尼康 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 北京中原华和知识产权代理有限责任公司 11019 | 代理人： | 寿宁 |
| 地址： | 日本东京千代*** | 国省代码： | 日本;JP |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 照明光学装置（13）将输出自曝光用光源（12）的曝光用光（EL）导向被照射物体（R）。照明光学装置(13)具备排列成矩阵状的多个空间光调变构件(22)，各空间光调变构件(22)将具有可动反射面的多个反射光学元件排列成矩阵状而分别构成。又，各空间光调变构件中的至少1个配置在从光源输出的光的光路内。 | ||
| 搜索关键词： | 照明 光学 装置 曝光 元件 制造 方法 | ||
【主权项】：
一种照明光学装置，将从光源输出、沿既定光路行进的光导向被照射物体，且与将配置于被照射面的光罩的图案转印至涂有感光性材料的基板上的曝光装置组合使用，其特征在于，具备：空间光调变构件，配置在该光路内，由具有可动反射面的多个反射光学元件排列成矩阵状所构成；以及绕射光学元件，配置在该光路内；来自该光源的光经过该空间光调变构件与该绕射光学元件到达该被照射物体。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于株式会社尼康，未经株式会社尼康许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201310052891.0/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：一种测试雷达速度传感器的装置
- 下一篇：一种随钻测井泥浆脉冲器性能检测装置
