[发明专利]硬质被膜、滑动部件、滑动部件的制造方法有效
| 申请号： | 201310053179.2 | 申请日： | 2013-02-19 |
| 公开（公告）号： | CN103320758A | 公开（公告）日： | 2013-09-25 |
| 发明（设计）人： | 杉本一等 | 申请（专利权）人： | 株式会社日立制作所 |
| 主分类号： | C23C14/35 | 分类号： | C23C14/35;C23C14/06 |
| 代理公司： | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 11038 | 代理人： | 李英 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明涉及硬质被膜、滑动部件、滑动部件的制造方法。提供一种硬质被膜，其长期保持硬质被膜的稳定的低摩擦特性。在含有硼和碳的硬质被膜(2)中，在表面分别具有多个凹部和凸部，所述凹部的碳浓度比所述凸部的碳浓度高，所述凸部的硼浓度比所述凹部的硼浓度高。另外，提供一种在基材(3)上设有含有硼和碳的硬质被膜的滑动部件的制造方法，所述硬质被膜采用非平衡磁控溅射法或高功率脉冲磁控溅射法的至少一种制作，使用含有硅、铬、钛、钨中的至少一种元素的靶、和碳化硼靶。 | ||
| 搜索关键词： | 硬质 滑动 部件 制造 方法 | ||
【主权项】：
一种硬质被膜，其含有硼和碳，其特征在于，在表面分别具有多个凹部和凸部，所述凹部的碳浓度比所述凸部的碳浓度高，所述凸部的硼浓度比所述凹部的硼浓度高。
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