[发明专利]波束监视系统和粒子束照射系统

摘要

本发明提供一种波束监视系统和粒子束照射系统。在扫描带电粒子的细的波束进行照射的方式中，为了进行精度高的照射，需要细波束，处于测定波束轮廓的多线型监视器的每单位长的线数增加的倾向，但是同时照射波束的导线是全部导线中很少一部分。作为仅对同时照射波束的范围相当的数量的线信号进行信号处理的方式，通过对照射范围的相当的数量的线连接其他线，提供低成本且高可靠性的波束监视系统。波束监视系统在测定带电粒子束的波束轮廓的多线型监视器中，对从多个线输出的信号进行分割，以相同数量的线进行分组，将各组的信号各取出一个并连接，按照属于组的线数的件数汇总，连接到存储了连接信息的信号处理部。

主权项

一种波束监视系统，其特征在于，具备：收集电极，具有多个线电极，检测通过的带电粒子束；信号处理装置，取得从所述线电极输出的检测信号进行信号处理；以及波束监视器控制装置，基于来自所述信号处理装置的处理信号，求出通过了所述线电极的带电粒子束的位置和波宽，所述收集电极由将相邻的多个所述线电极作为一个组的多个组构成，所述信号处理装置通过与属于所述组的线电极相同数目的配线与所有的所述线电极连接，以便从同一配线输入从各个所述组选择的一个线电极输出的检测信号，所述信号处理装置求出用于表示输入的检测信号是属于哪个组的线电极的检出信号的组信息，将包含所述组信息的所述处理信号输出到所述波束监视器控制装置。