[发明专利]射频控制系统有效
| 申请号： | 201310056218.4 | 申请日： | 2013-02-22 |
| 公开（公告）号： | CN103324238A | 公开（公告）日： | 2013-09-25 |
| 发明（设计）人： | 戴维·J·库莫;理查德·法姆 | 申请（专利权）人： | MKS仪器公司 |
| 主分类号： | G05F1/66 | 分类号： | G05F1/66 |
| 代理公司： | 北京银龙知识产权代理有限公司 11243 | 代理人： | 曾贤伟;杨继平 |
| 地址： | 美国马*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 本发明提供一种射频控制系统。RF电源系统用于将RF功率周期性传输至负载。功率放大器将RF信号输出至该负载。传感器测量提供至该负载的RF信号并输出根据该RF信号而改变的信号。第一反馈回路能够基于由传感器的输出确定的功率来控制该RF信号。第二反馈回路能够基于由传感器输出的信号测量的能量来控制该RF信号。能量振幅和持续时间提供用于改变该RF信号的控制值。控制系统和技术方案适用于脉冲RF电源和各种连续波电源实例。 | ||
| 搜索关键词： | 射频 控制系统 | ||
【主权项】：
一种射频（RF）控制系统，包括：功率放大器，用于将RF信号输出至负载；传感器，用于监控所述RF信号并且基于所述RF信号生成传感器信号；能量检测电路，用于根据所述传感器信号确定所述RF信号的能量；以及功率放大器能量调节电路，用于根据由所述能量检测电路确定的能量生成用于改变所述RF信号的控制信号。
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