[发明专利]自组织单量子点的定位方法及装置有效
| 申请号： | 201310056260.6 | 申请日： | 2013-02-19 |
| 公开（公告）号： | CN103163109A | 公开（公告）日： | 2013-06-19 |
| 发明（设计）人： | 尚向军;倪海桥;査国伟;喻颖;李密峰;王莉娟;徐建星;牛智川 | 申请（专利权）人： | 中国科学院半导体研究所 |
| 主分类号： | G01N21/64 | 分类号： | G01N21/64 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人： | 宋焰琴 |
| 地址： | 100083 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种自组织单量子点的定位装置和方法，其装置包括：激光器，其用于产生激发光，激发量子点样品中的量子点产生荧光光束；紫外光源装置，其用于产生紫外光，对单量子点微区光刻胶曝光；显微物镜，其用于汇聚所述激发光和紫外光到所述量子点样品表面微区，并收集所述微区中量子点的荧光光束，其还用于扫描样品表面；光谱仪，其用于表征所述荧光光束，得到荧光光谱；其方法是：在所述荧光光谱找到单量子点对应的分立谱线后停止扫描，打开所述紫外光对当前扫描的样品表面微区光刻胶曝光，以定位单量子点。本发明避免了平面阵列版图工艺在定位单量子点微区上的盲目性，达到了原位准确定位单量子点的目的，提高了单光子源器件的成品率。 | ||
| 搜索关键词： | 组织 量子 定位 方法 装置 | ||
【主权项】：
一种定位自组织单量子点的装置，其包括：激光器，其用于产生激发光，所述激发光沿光路经显微物镜汇聚，照射在量子点样品表面微区，激发所述微区中的量子点产生荧光光束；紫外光源装置，其用于产生紫外光；显微物镜，其用于汇聚所述激发光和紫外光到所述量子点样品表面的微区，并收集所述量子点样品表面的微区中量子点发出的荧光光束，其还用于扫描量子点样品表面；光谱仪，其用于表征所述荧光光束，得到荧光光谱；其中，在所述荧光光谱中找到单量子点发出的荧光对应的分立谱线后，所述显微物镜停止扫描，并打开所述紫外光源装置对当前扫描的量子点样品表面微区的光刻胶进行曝光，以定位自组织单量子点的位置。
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