[发明专利]具有可动栅极的微机械传感器和相应的制造方法在审
| 申请号： | 201310056432.X | 申请日： | 2013-02-22 |
| 公开（公告）号： | CN103288036A | 公开（公告）日： | 2013-09-11 |
| 发明（设计）人： | O.雅科夫莱夫;A.布曼;A.费伊 | 申请（专利权）人： | 罗伯特·博世有限公司 |
| 主分类号： | B81B7/00 | 分类号： | B81B7/00;B81B5/00;B81C1/00 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司 72001 | 代理人： | 李少丹;刘春元 |
| 地址： | 德国斯*** | 国省代码： | 德国;DE |
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| 摘要： | 本发明提供了一种具有可动栅极的微机械传感器装置和相应的制造方法。具有可动栅极的微机械传感器装置具有：场效应晶体管，该场效应晶体管带有漏极区域（3）、源极区域（4）、具有第一掺杂类型的位于其间的沟道区域（7）和可动栅极（1），该可动栅极通过空隙（Z）与沟道区域（7）分离。漏极区域（3）、源极区域（4）和沟道区域（7）设置在衬底（2）中。至少在沟道区域（7）的纵向侧（S1，S2）上在衬底（2）中设置防护区域（8；8a，8b），其具有第二掺杂类型，该第二掺杂类型与第一掺杂类型相同并且具有比第一掺杂类型高的掺杂浓度。 | ||
| 搜索关键词： | 具有 栅极 微机 传感器 相应 制造 方法 | ||
【主权项】：
一种具有可动栅极的微机械传感器装置，其具有：场效应晶体管，该场效应晶体管带有漏极区域（3）、源极区域（4）、具有第一掺杂类型的位于其间的沟道区域（7）和可动栅极（1），该可动栅极通过空隙（Z）与沟道区域（7）分离；其中漏极区域（3）、源极区域（4）和沟道区域（7）设置在衬底（2）中；以及其中至少在沟道区域（7）的纵向侧（S1，S2）上在衬底（2）中设置防护区域（8；8a，8b），其具有第二掺杂类型，该第二掺杂类型与第一掺杂类型相同并且具有比第一掺杂类型高的掺杂浓度。
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