[发明专利]描绘设备以及制造物品的方法无效
| 申请号： | 201310057029.9 | 申请日： | 2013-02-22 |
| 公开（公告）号： | CN103295863A | 公开（公告）日： | 2013-09-11 |
| 发明（设计）人： | 大石哲;村木真人;千德孝一;山口渉;稻秀树 | 申请（专利权）人： | 佳能株式会社 |
| 主分类号： | H01J37/153 | 分类号： | H01J37/153 |
| 代理公司： | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 11038 | 代理人： | 欧阳帆 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明涉及描绘设备以及制造物品的方法。一种利用多个带电粒子束在衬底上描绘图案的描绘设备包括：带电粒子光学系统，被配置为将多个带电粒子束发射到衬底上；以及控制器，被配置为控制带电粒子光学系统的操作。控制器被配置为控制所述操作以便补偿基于衬底的表面的起伏的第一数据和多个带电粒子束中的每一个带电粒子束相对于带电粒子光学系统的轴的倾斜的第二数据而确定的图案的畸变。 | ||
| 搜索关键词： | 描绘 设备 以及 制造 物品 方法 | ||
【主权项】：
一种利用多个带电粒子束在衬底上描绘图案的描绘设备，所述描绘设备包括：带电粒子光学系统，被配置为将多个带电粒子束发射到衬底上；以及控制器，被配置为控制带电粒子光学系统的操作，其中控制器被配置为控制所述操作以便补偿基于衬底的表面的起伏的第一数据和多个带电粒子束中的每一个带电粒子束相对于带电粒子光学系统的轴的倾斜的第二数据而确定的图案的畸变。
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