[发明专利]基于状态的功率和频率调节

摘要

本发明描述了用于基于状态的功率和频率调节的系统和方法。系统的主发生器包括用于将主射频（RF）信号提供给电极的主功率供应器。主发生器进一步包括自动频率控制单元（AFC）以在脉冲信号处于第一状态时将第一频率输入提供给主功率供应器。该系统的从发生器包括用于将从RF信号提供给电极的从功率供应器。从发生器还包括AFC以在脉冲信号处于第一状态时将第二频率输入提供给从功率供应器。从发生器包括AFC以在脉冲信号处于第二状态时将第三频率输入提供给从功率供应器。该系统包括用于产生脉冲信号的数字脉冲源。

主权项

一种用于基于状态的功率和频率调节的系统，其包括：耦合到电极的主发生器，所述主发生器包括用于将主射频信号提供给所述电极的主功率供应器，所述主发生器进一步包括第一自动频率控制单元以在脉冲信号处于第一状态时将第一频率输入提供给所述主功率供应器；耦合到所述电极的从发生器，所述从发生器包括用于将从射频信号提供给所述电极的从功率供应器，所述从发生器包括第二自动频率控制单元以在所述脉冲信号处于所述第一状态时将第二频率输入提供给所述从功率供应器，所述从发生器包括第三自动频率控制单元以在所述脉冲信号处于第二状态时将第三频率输入提供给所述从功率供应器，其中，在训练例程期间，所述第二频率输入和所述第三频率输入是预定的；以及数字时钟脉冲源，其用于产生所述脉冲信号并耦合到所述主发生器和从发生器。