[发明专利]紫外发光二极管结构有效
申请号: | 201310057268.4 | 申请日: | 2013-02-22 |
公开(公告)号: | CN103137822A | 公开(公告)日: | 2013-06-05 |
发明(设计)人: | 孙莉莉;闫建昌;魏同波;王军喜;李晋闽 | 申请(专利权)人: | 中国科学院半导体研究所 |
主分类号: | H01L33/44 | 分类号: | H01L33/44;H01L33/06 |
代理公司: | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人: | 汤保平 |
地址: | 100083 *** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | 一种紫外发光二极管结构,包括:一基底;一N型AlGaN层,其制作在基底上,该N型AlGaN层上面的一侧有一台面;一AlGaN量子阱,其制作在N型AlGaN层没有台面一侧的上面;一P型AlGaN层,其制作在AlGaN量子阱上;一P型GaN层,其制作在P型AlGaN层上;一顶电极,其制作在P型GaN层上;一底电极,其制作在N型AlGaN层一侧的台面上;一金属层,其制作在基底的背面。本发明采用等离激元技术提高出光效率和内量子效率。 | ||
搜索关键词: | 紫外 发光二极管 结构 | ||
【主权项】:
一种紫外发光二极管结构,包括:一基底;一N型AlGaN层,其制作在基底上,该N型AlGaN层上面的一侧有一台面;一AlGaN量子阱,其制作在N型AlGaN层没有台面一侧的上面;一P型AlGaN层,其制作在AlGaN量子阱上;一P型GaN层,其制作在P型AlGaN层上;一顶电极,其制作在P型GaN层上;一底电极,其制作在N型AlGaN层一侧的台面上;一金属层,其制作在基底的背面。
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