[发明专利]连续式氯硅烷残液回收处理装置及方法

摘要

本发明涉及一种连续式氯硅烷残液回收处理装置及方法，特别是针对回收具有极高价值的六氯乙硅烷（又称六氯二硅烷、全氯乙硅烷）的方法及其装置。本工艺主要包括过滤器、初馏塔、六氯二硅烷脱轻塔、六氯二硅烷脱重塔、四氯化硅脱氢塔、四氯化硅脱重塔。本发明特别适用于处理多晶硅生产中冷氢化渣浆及精馏残液、合成工序精馏残液等脏残液，也同样适用于还原工序精馏残液与热氢化工序精馏残液或混合类型等残液。本发明可以有效的除去与四氯化硅难分离的有机氯硅烷、与六氯二硅烷难分离四氯化钛，本处理工艺可以回收得到纯度99.7%的六氯二硅烷与纯度。

主权项

一种连续式氯硅烷残液回收处理装置：包括过滤器（1）、初馏塔（2）、六氯二硅烷脱轻塔（3）、六氯二硅烷脱重塔（4）、四氯化硅脱氢塔（5）、四氯化硅脱重塔（6）、滤渣储罐（7）、三氯氢硅储罐（8）、四氯化硅储罐（9）、有机氯硅烷储罐（10）、六氯二硅烷储罐（11）、高沸硅油储罐（8）；其特征是在过滤器（1）上设置有氯硅烷残液（13）进料入口，设置的滤液出口管线（14）与初馏塔（2）相连，底部设置有滤渣卸载管线（15）与滤渣储罐（7）相连；初馏塔（2）塔底设初馏塔塔底物流管线（17）与六氯二硅烷脱轻塔（3）相连，初馏塔塔顶物流管线（16）与四氯化硅脱轻塔（5）相连；六氯二硅烷脱轻塔（3）塔底设六氯二硅烷脱轻塔塔底物流管线（19）与六氯二硅烷脱重塔（4）相连，六氯二硅烷脱轻塔顶部设有机氯硅烷物流管线（18）连接至有机氯硅烷储罐（10），六氯二硅烷脱轻塔顶部连接有氯气物料进料管线（26）；六氯二硅烷脱重塔（4）塔底设高沸硅油物流管线（21）连接至高沸硅油储罐（12），顶部设六氯二硅烷产品物流管线（20）连接至六氯二硅烷储罐（11），顶部设置有氮气物料管线（27）；四氯化硅脱轻塔（5）塔底设置有四氯化硅脱轻塔塔底物流管线（23）与四氯化硅脱重塔（5）相连，顶部设三氯氢硅物流管线（22）连接至三氯氢硅储罐（8）；四氯化硅脱重塔（6）塔底有机氯硅烷物流管线（25）连接至有机氯硅烷储罐（10），顶部设四氯化硅产品物流管线（24）连接至四氯化硅储罐（9）。