[发明专利]检测硅熔汤外泄的方法有效
| 申请号： | 201310059559.7 | 申请日： | 2013-02-26 |
| 公开（公告）号： | CN103969006B | 公开（公告）日： | 2016-11-16 |
| 发明（设计）人： | 杨镇豪 | 申请（专利权）人： | 茂迪股份有限公司 |
| 主分类号： | G01M3/04 | 分类号： | G01M3/04 |
| 代理公司： | 北京律诚同业知识产权代理有限公司 11006 | 代理人： | 徐金国 |
| 地址： | 中国台湾新北市*** | 国省代码： | 中国台湾;71 |
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| 摘要： | 一种检测硅熔汤外泄的方法，适用于检测炉体内的坩埚内的硅熔汤的外泄，此坩埚的外围包覆有多个石墨板材。此检测硅熔汤外泄的方法包含下列步骤。利用气体检测器进行检测步骤，以检测炉体内的一氧化碳的含量或二氧化碳的含量。将坩埚的加热温度维持在稳定状态时，所检测到的一氧化碳或二氧化碳的第一含量值作为一基准。进行判断步骤，以判断硅熔汤是否自坩埚外泄。当后续所检测到的一氧化碳或二氧化碳的第二含量值相对于第一含量值呈陡升状况时，判断硅熔汤外泄。 | ||
| 搜索关键词： | 检测 硅熔汤 外泄 方法 | ||
【主权项】：
一种检测硅熔汤外泄的方法，适用于检测一炉体内的坩埚内的硅熔汤的外泄，其中所述坩埚的外围包覆有多个石墨板材，所述检测硅熔汤外泄的方法包含：利用一气体检测器进行一检测步骤，以检测所述炉体内二氧化碳的含量；将所述坩埚的加热温度维持在一稳定状态时，所检测到二氧化碳的第一含量值作为一基准；以及进行一判断步骤，以判断所述硅熔汤是否自该坩埚外泄，其中当后续所检测到二氧化碳的第二含量值相对于第一含量值呈一陡升状况时，判断所述硅熔汤外泄。
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