[发明专利]改良西门子法联产制备高纯硅烷的方法有效
| 申请号： | 201310060283.4 | 申请日： | 2013-02-26 |
| 公开（公告）号： | CN103112860A | 公开（公告）日： | 2013-05-22 |
| 发明（设计）人： | 黄国强;王国锋;王红星;陈锦溢 | 申请（专利权）人： | 天津大学 |
| 主分类号： | C01B33/107 | 分类号： | C01B33/107;C01B33/04 |
| 代理公司： | 天津市北洋有限责任专利代理事务所 12201 | 代理人： | 王丽 |
| 地址： | 300072 天*** | 国省代码： | 天津;12 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种改良西门子法联产制备高纯硅烷的方法。改良西门子法联产制备高纯硅烷的方法，将改良西门子法制备多晶硅提纯歧化工序生成的高纯三氯氢硅，一部分继续原来路线进入还原工序沉积得到多晶硅；一部分进入硅烷制备工序，得到高纯硅烷产品和副产四氯化硅。本发明的改良西门子法联产制备高纯硅烷的工艺具有如下优势：以高纯三氯氢硅为原料制备硅烷，显著提高硅烷纯度；优化产品结构，降低生产和投资风险；高纯硅烷可用于制备区熔级多晶硅，降低成本，提高质量；形成闭路循环，提高原料利用率。 | ||
| 搜索关键词： | 改良 西门子 联产 制备 高纯 硅烷 方法 | ||
【主权项】：
改良西门子法联产制备高纯硅烷的方法，其特征是改良西门子法制备多晶硅提纯歧化工序生成的高纯三氯氢硅，一部分继续原来路线进入还原工序沉积得到多晶硅；一部分进入硅烷制备工序，得到高纯硅烷产品和副产四氯化硅。
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