[发明专利]一种镧锶锰氧-氧化镍纳米复合薄膜材料及其制备方法有效
| 申请号： | 201310060571.X | 申请日： | 2013-02-26 |
| 公开（公告）号： | CN104004988A | 公开（公告）日： | 2014-08-27 |
| 发明（设计）人： | 王占杰;宁兴坤;张志东 | 申请（专利权）人： | 中国科学院金属研究所 |
| 主分类号： | C23C14/06 | 分类号： | C23C14/06;C23C14/28 |
| 代理公司： | 沈阳晨创科技专利代理有限责任公司 21001 | 代理人： | 张晨 |
| 地址： | 110015 辽*** | 国省代码： | 辽宁;21 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种镧锶锰氧-氧化镍纳米复合薄膜材料及其制备方法，所述材料的组成为NiO：0~50%，La0.7Sr0.3MnO3:50~100%，该材料的居里温度为200~345K，具有良好的低场磁电阻；该材料的制备方法是利用脉冲激光沉积法在650~750°C和25~50Pa氧压的条件下，用镧锶锰氧和氧化镍靶材在SrTiO3(001)基板上沉积10~25nm镧锶锰氧-氧化镍纳米复合薄膜。通过控制激光照射不同靶材的时间，使薄膜中的氧化镍含量连续可变，在200~345K范围内实现了低场磁电阻的连续可调。该复合薄膜作为磁电阻材料在磁传感器、磁存储器、晶体管等微小电子器件方面具有广阔的应用前景。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 镧锶锰氧 氧化 纳米 复合 薄膜 材料 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
一种镧锶锰氧‑氧化镍纳米复合薄膜材料，其特征在于：该复合薄膜材料的组成为NiO：0~50%，La0.7Sr0.3MnO3:50~100%。
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