[发明专利]集成光栅压电调制闭环高精度微加速度传感器无效
| 申请号： | 201310061102.X | 申请日： | 2013-02-27 |
| 公开（公告）号： | CN103175991A | 公开（公告）日： | 2013-06-26 |
| 发明（设计）人： | 侯昌伦 | 申请（专利权）人： | 浙江大学 |
| 主分类号： | G01P15/093 | 分类号： | G01P15/093 |
| 代理公司： | 杭州天勤知识产权代理有限公司 33224 | 代理人： | 胡红娟 |
| 地址： | 310027 浙*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种集成光栅压电调制闭环高精度微加速度传感器，包括外壳，外壳内设有沿光路依次布置的光源、光栅、压电陶瓷部件和MEMS传感机构；MEMS传感机构包括质量块和连接所述质量块的悬臂梁，质量块朝向光栅的一面为光反射面；还设有用于检测干涉光束光强的光电探测器，所述的干涉光束为被光栅反射的光束和被光反射面反射的光束发生干涉形成；以及用于根据光电探测器信号计算相应加速度的信号处理模块；设有固定在质量块的底部的第一电磁力发生装置，以及位于外壳内且与第一电磁力发生装置相配合的第二电磁力发生装置，以及向第一电磁力发生装置和第二电磁力发生装置输送电流的电流驱动模块，该电流驱动模块与信号处理模块连接。 | ||
| 搜索关键词： | 集成 光栅 压电 调制 闭环 高精度 加速度 传感器 | ||
【主权项】：
一种集成光栅压电调制闭环高精度微加速度传感器，包括外壳，外壳内设有沿光路依次布置的光源、光栅、压电陶瓷部件和MEMS传感机构；所述MEMS传感机构包括质量块和连接所述质量块的悬臂梁，所述质量块朝向光栅的一面为光反射面；还设有用于检测干涉光束光强的光电探测器，所述的干涉光束为被光栅反射的光束和被光反射面反射的光束发生干涉形成；以及用于根据所述光电探测器信号计算相应加速度的信号处理模块；其特征在于，设有固定在质量块的底部的第一电磁力发生装置，以及位于外壳内且与所述第一电磁力发生装置相配合的第二电磁力发生装置，以及向所述第一电磁力发生装置和第二电磁力发生装置输送电流的电流驱动模块，所述电流驱动模块与信号处理模块连接。
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