[发明专利]微机械传感器装置和相应制造方法以及相应的应用在审
| 申请号： | 201310061342.X | 申请日： | 2013-02-27 |
| 公开（公告）号： | CN103288037A | 公开（公告）日： | 2013-09-11 |
| 发明（设计）人： | G.比肖平克;C.舍林 | 申请（专利权）人： | 罗伯特·博世有限公司 |
| 主分类号： | B81B7/00 | 分类号： | B81B7/00;B81B7/02;B81C1/00;B81C3/00 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司 72001 | 代理人： | 丁永凡;王忠忠 |
| 地址： | 德国斯*** | 国省代码： | 德国;DE |
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| 摘要： | 本发明提出了一种微机械传感器装置和一种相应的制造方法以及一种相应的应用。所述微机械传感器装置包括：衬底（S1；S1；S1’），其具有前侧（V；V1；V1’）和背侧（R；R1；R1’）；其中在前侧（V；V1；V1’）上集成第一微机械传感器装置（M1），而在背侧（R；R1；R1’）上集成第二微机械传感器装置（M2）。 | ||
| 搜索关键词： | 微机 传感器 装置 相应 制造 方法 以及 应用 | ||
【主权项】：
一种微机械传感器装置，具有：衬底（S1；S1；S1’），其具有前侧（V；V1；V1’）和背侧（R；R1；R1’）；其中在前侧（V；V1；V1’）上集成第一微机械传感器装置（M1；M11；M11’），而在背侧（R；R1；R1’）上集成第二微机械传感器装置（M2；M12；M12’）。
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