[发明专利]显示器用玻璃基板的制造方法、玻璃基板以及显示器用面板

摘要

本发明提供一种显示器用玻璃基板的制造方法、玻璃基板以及显示器用面板，利用该制造方法，在从载置台与玻璃基板接触的状态将玻璃基板从载置台除去时，能够在该除去时难以产生静电。所述显示器用玻璃基板的制造方法具有制作玻璃基板的工序；对所述玻璃基板的主表面中的一侧的玻璃表面进行表面处理从而形成表面凹凸的工序。在进行了所述表面处理的所述玻璃表面中，分散设置有自所述表面凹凸的表面粗糙度中心面起具有1nm以上的高度的凸部，且所述凸部占所述玻璃表面的面积的面积比率为0.5%～10%。使用该玻璃基板，在与所述玻璃表面相反一侧的玻璃基板的主表面上形成半导体元件。由此来制作显示器用面板。

主权项

一种显示器用玻璃基板的制造方法，其是用于制造显示器用玻璃基板的方法，该制造方法的特征在于，其具有：制作由含有Si、Al和B为玻璃成分的硼铝硅酸盐玻璃构成的玻璃基板的工序；和对所述玻璃基板的主表面中的一侧的玻璃表面进行表面处理从而形成表面凹凸的工序，在进行了所述表面处理的所述玻璃表面中，分散设置有自所述表面凹凸的表面粗糙度中心面起具有1nm以上的高度的凸部，且所述凸部占所述玻璃表面的面积的面积比率为0.5％～10％，其中，所述表面凹凸的Rz为3.13nm以上，该Rz是通过原子力显微镜测定得到的表面凹凸的最大高度，所述Rz的范围是满足在下述静电评价中，反复次数超过10次，且最大电势小于17kV的范围，所述静电评价如下进行：从将730mm×920mm尺寸且厚度为0.5mm的评价用玻璃基板放置在基板台上而利用升降销对其进行支撑的状态，使所述升降销相对所述基板台的载置面下降，由此使所述评价用玻璃基板下降从而放置在所述基板台上，进一步，以50kPa将所述评价用玻璃基板从设置在所述基板台的载置面的吸引口吸引后，终止吸引，使升降销上升；以这样的所述评价用玻璃基板的下降、吸引、吸引终止、上升为1个循环，反复进行了多次循环直到用表面电势计测量的电势饱和。