[发明专利]光刻化学品循环系统及其方法

摘要

一种光刻化学品循环系统，包括：化学品瓶；第一管路，与所述化学品瓶连通；第一排泡装置、第一压力泵、第一过滤器，以及喷吐装置，顺序设置在所述第一管路上；第二管路，所述第二管路的一端与所述喷吐装置连接，所述第二管路的另一端与介于所述化学品瓶和所述第一排泡装置之间的第一管路连通；喷头腔室、第二排泡装置、第二压力泵，以及第二过滤器，顺序设置在所述第二管路上。本发明光刻化学品循环系统中光刻化学品未长时间接触空气，不会产生结晶微粒，无需设置无效喷吐造成浪费；另一方面，所述第二排泡装置可用于排出第一管路及第二管路中的气泡，整个排泡过程中不会造成光刻化学品浪费，从而降低生产成本。

主权项

一种光刻化学品循环系统，其特征在于，所述光刻化学品循环系统包括：化学品瓶，所述化学品瓶用于为所述光刻化学品循环系统提供所述光刻化学品；第一管路，所述第一管路的一端与所述化学品瓶连通，并用于所述光刻化学品进料传输；第一排泡装置，所述第一排泡装置紧邻所述化学品瓶，并设置在所述第一管路上；第一压力泵，所述第一压力泵设置在所述第一排泡装置之异于所述化学品瓶一侧的第一管路上；第一过滤器，所述第一过滤器设置在所述第一压力泵之异于所述第一排泡装置一侧的第一管路上；喷吐装置，所述喷吐装置设置在所述第一过滤器之异于所述第一压力泵一侧，并位于所述第一管路之异于所述化学品瓶的另一端；第二管路，所述第二管路用于所述光刻化学品循环系统中的光刻化学品循环，所述第二管路的一端与所述喷吐装置连接，所述第二管路的另一端与介于所述化学品瓶和所述第一排泡装置之间的第一管路连通；喷头腔室，所述喷头腔室设置在所述第二管路的一端，并与所述喷吐装 置紧密相连；第二排泡装置，所述第二排泡装置紧邻所述喷头腔室，并设置在所述第二管路上；第二压力泵，所述第二压力泵设置在所述第二排泡装置之异于所述喷头腔室一侧的第二管路上；以及，第二过滤器，所述第二过滤器设置在所述第二压力泵之异于所述第二排泡装置一侧的第二管路上，并介于所述化学品瓶和所述第一排泡装置之间的第一管路与所述第二压力泵之间。