[发明专利]金属薄膜制备方法无效
| 申请号： | 201310064903.1 | 申请日： | 2013-02-28 |
| 公开（公告）号： | CN103132039A | 公开（公告）日： | 2013-06-05 |
| 发明（设计）人： | 张欣宇 | 申请（专利权）人： | 广东省计量科学研究院 |
| 主分类号： | C23C14/35 | 分类号： | C23C14/35;C23C14/14;C23C14/58 |
| 代理公司： | 北京商专永信知识产权代理事务所(普通合伙) 11400 | 代理人： | 高之波;邬玥 |
| 地址： | 510000 广东省*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种金属薄膜的制备方法，包括下述步骤：（1）在金属基体表面选定区域涂覆胶粘剂；（2）待胶粘剂变干形成胶粘层后，在金属基体表面和胶粘层上镀金属薄膜；（3）镀膜完成后，将金属基体放入有机溶剂中浸润以软化胶粘层，再将金属基体置于有机溶剂中超声处理以除去胶粘层，得到具有台阶结构的金属薄膜。本发明利用涂覆粘胶剂保护基体的部分表面，并通过清除粘胶剂的方式在薄膜表面形成台阶，保证了金属薄膜台阶结构的完整、边缘清晰。本发明制得的金属薄膜适用于轮廓仪、扫描探针显微镜测量金属薄膜台阶高度并标定薄膜厚度，可用于非接触式、间接的测厚仪器（如：X射线衍射仪、X射线荧光测厚仪）的计量校准。 | ||
| 搜索关键词： | 金属 薄膜 制备 方法 | ||
【主权项】：
金属薄膜制备方法，其特征在于，包括下述步骤：（1）在金属基体表面选定区域涂覆胶粘剂；（2）待胶粘剂变干形成胶粘层后，在金属基体表面和胶粘层上镀金属薄膜；（3）镀膜完成后，将金属基体放入有机溶剂中浸润以软化胶粘层，再将金属基体置于有机溶剂中超声处理以除去胶粘层，得到具有台阶结构的金属薄膜。
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