[发明专利]有机发光装置的制备方法在审

专利信息
申请号: 201310064964.8 申请日: 2013-03-01
公开(公告)号: CN103311458A 公开(公告)日: 2013-09-18
发明(设计)人: 朴镇宇 申请(专利权)人: 三星显示有限公司
主分类号: H01L51/56 分类号: H01L51/56
代理公司: 北京铭硕知识产权代理有限公司 11286 代理人: 韩芳;刘奕晴
地址: 韩国京畿*** 国省代码: 韩国;KR
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摘要: 一种制备有机发光装置的方法,所述方法包括:在基板上形成有机发射单元;以及形成包括至少一个包括低温粘度转变(LVT)无机材料的无机层的薄膜包封层,形成薄膜包封层包括形成所述至少一个无机层,形成所述至少一个无机层包括:通过在真空中使用等离子加热包括LVT无机材料的源,并将从源分离出来的LVT无机材料或LVT无机材料的离子沉积在有机发射单元上,在有机发射单元上形成包括LVT无机材料的预无机层;以及在大于LVT无机材料的粘度转变温度的温度下对预无机层应用恢复工艺。
搜索关键词: 有机 发光 装置 制备 方法
【主权项】:
一种制备有机发光装置的方法,所述方法包括:在基板上形成有机发射单元;以及形成包括至少一个包含低温粘度转变无机材料的无机层的薄膜包封层,形成薄膜包封层包括形成所述至少一个无机层,其中,形成所述至少一个无机层包括:通过在真空中使用等离子加热包括低温粘度转变无机材料的源,并将从源分离出来的低温粘度转变无机材料或低温粘度转变无机材料的离子沉积在有机发射单元上,在有机发射单元上形成包括低温粘度转变无机材料的预无机层;以及在大于低温粘度转变无机材料的粘度转变温度的温度下对预无机层应用恢复工艺。
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