[发明专利]一种低温双层隔离式MEMS微波功率传感器有效
| 申请号： | 201310065237.3 | 申请日： | 2013-03-01 |
| 公开（公告）号： | CN103149423A | 公开（公告）日： | 2013-06-12 |
| 发明（设计）人： | 廖小平;周锐 | 申请（专利权）人： | 东南大学 |
| 主分类号： | G01R21/02 | 分类号： | G01R21/02;G01R3/00;B81C1/00 |
| 代理公司： | 南京苏高专利商标事务所(普通合伙) 32204 | 代理人： | 柏尚春 |
| 地址： | 210096 *** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种低温双层隔离式MEMS微波功率传感器，其通过在现有MEMS微波功率传感器的外围，刻蚀内隔离环和外隔离环，将微波功率传感器包围起来形成隔离岛。同时又在内隔离环内侧设有第一加热电路和第二加热电路，利用热电阻加热，保持MEMS微波功率传感器工作在常温下，进一步减小了环境温度对现有MEMS微波功率传感器灵敏度的影响，从而提高了传感器对微波功率的测试精度。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 低温 双层 隔离 mems 微波 功率 传感器 | ||
【主权项】：
一种低温双层隔离式MEMS微波功率传感器，包括MEMS微波功率传感器（A），其特征在于，在MEMS微波功率传感器（A）外围设有位于内侧的内隔离环（8）和位于外侧的外隔离环（7），在所述内隔离环（8）内侧还设有第一加热电路和第二加热电路。
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