[发明专利]水平轴驱动机构、二轴驱动机构以及裸芯片接合器

摘要

本发明提供一种轻量且可减少振动并实现快速化的直线电动机的水平轴驱动部，而且，提供一种能够减少水平轴的振动并且能够实现升降轴的快速化的包括升降轴的二轴驱动机构以及利用了它的裸芯片接合器。本发明包括：第一固定部；具备固定负载部并使负载部在水平方向移动的第一可动部和第一固定部的第一直线电动机；支撑上述第一固定部的支撑体；设置于上述支撑体与上述第一固定部之间且使上述第一固定部移动的第一直线导向件；可旋转地支撑于上述支撑体的旋转体；具备将上述第一固定部的上述水平方向的移动转换为上述旋转体的旋转的转换单元的旋转转换式配重；以及控制上述第一可动部的上述水平方向的位置的控制部。

主权项

一种水平轴驱动机构，其特征在于，包括：第一直线电动机，该第一直线电动机具备第一固定部、和固定负载部并使上述负载部在水平方向移动的第一可动部；支撑上述第一固定部的支撑体；设置于上述支撑体与上述第一固定部之间且使上述第一固定部移动的第一直线导向件；旋转转换式配重，该旋转转换式配重具备能够旋转地支撑于上述支撑体的旋转体、和将上述第一固定部的上述水平方向的移动转换为上述旋转体的旋转的转换单元；检测上述第一可动部相对于上述支撑体的上述水平方向的位置的线性传感器；以及基于上述线性传感器的输出控制上述第一可动部的上述水平方向的位置的控制部。