[发明专利]激光装置

摘要

本发明提供能够使用常用的反射镜容易地调整分割激光的光量比及射线间隔的至少任一方，由此，能够实现成本的低廉化的激光装置。激光装置（10A）具备将激光（LB）分割为分割激光（LB1、LB2）的多个反射镜（44、46）与聚光镜（52）。反射镜（46）在能以改变激光（LB）相对于该反射镜（46）的入射量的方式进退的状态、以及能以改变由该反射镜（46）反射的分割激光（LB2）相对于聚光镜（52）的入射角度的方式倾斜运动的状态中的任一个状态下配设。

主权项

一种激光装置，其具备：使激光振荡的激光振荡器；将上述激光分割为多个分割激光并且朝向工件反射的多个反射镜；以及将多个上述分割激光聚光到上述工件上的聚光镜，该激光装置的特征在于，多个上述反射镜的至少一个是在能以改变上述激光相对于该反射镜的入射量的方式进退的状态、以及能以改变由该反射镜反射的上述分割激光相对于上述聚光镜的入射角度的方式倾斜运动的状态中的任一个状态下配设的可动反射镜。