[发明专利]具有共掺杂薄膜的砷化镓基激光二极管无效
申请号: | 201310067262.5 | 申请日: | 2013-03-01 |
公开(公告)号: | CN103151709A | 公开(公告)日: | 2013-06-12 |
发明(设计)人: | 钱时昌 | 申请(专利权)人: | 溧阳华晶电子材料有限公司 |
主分类号: | H01S5/327 | 分类号: | H01S5/327 |
代理公司: | 南京天翼专利代理有限责任公司 32112 | 代理人: | 蒋家华 |
地址: | 213300 江苏省*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 本发明公开了一种采用氮镁共掺杂p型氧化锌薄膜的激光二极管,该激光二极管的结构为:n型氧化镍薄膜,其形成在砷化镓衬底的上表面上;氮镁共掺杂p型氧化锌薄膜,其形成在所述n型氧化镍薄膜的上表面上,以及底电极,其形成在所述n型氧化镍薄膜下表面上,顶电极,其形成在所述氮镁共掺杂p型氧化锌薄膜的上表面上。 | ||
搜索关键词: | 具有 掺杂 薄膜 砷化镓基 激光二极管 | ||
【主权项】:
一种采用氮镁共掺杂p型氧化锌薄膜的激光二极管,该激光二极管的结构为:n型氧化镍薄膜,其形成在砷化镓衬底的上表面上;氮镁共掺杂p型氧化锌薄膜,其形成在所述n型氧化镍薄膜的上表面上,以及底电极,其形成在所述n型氧化镍薄膜下表面上,顶电极,其形成在所述氮镁共掺杂p型氧化锌薄膜的上表面上。
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