[发明专利]基于银纳米粒子介电泳组装的有序纳米微结构制造方法

摘要

基于纳米粒子介电泳组装的有序纳米微结构制造方法，先制造平面平行微电极，再制造具有光刻胶导向结构的微电极系统，再进行银纳米粒子介电泳组装，最后进行有序的纳米微结构形成，本发明通过对银纳米粒子悬浮液施加高频交流电，使其在具有光刻胶导向作用下的微电极系统中，进行正介电泳力的组装，形成有序银纳米微结构的方法，可以有效的实现低成本，又简单易行地实现按照人的意志来调控图案多样、有序度高、稳定性好的自组装纳米微结构，可以广泛的应用于光电子器件、光伏器件等。

主权项

基于纳米粒子介电泳组装的有序纳米微结构制造方法，其特征在于，包括以下步骤：第一步，制造平面平行微电极，选择表面绝缘的刚性材料为基底，在其表面做亲水性的表面处理；然后采用溅射或蒸镀工艺在基底表面制备一层厚度为50‑200nm的金，然后刻蚀使其图形化，以形成平面平行微电极；第二步，制造具有光刻胶导向结构的微电极系统，在制造好的平面平行电极上旋涂厚度为0.5‑1.5微米的光刻胶，利用光刻对准工艺实现区域紫外降解，从而在平行微电极之间制作出光刻胶的图形化结构；第三步，银纳米粒子介电泳组装，把微电极系统浸入银纳米粒子悬浮液中，对平面平行电极施加频率为100KHz—500KHz的交流电信号，从而实现银纳米粒子在微电极系统中的组装；第四步，有序的纳米微结构形成，把组装后的微电极系统浸入丙酮中，去除胶结构；把去胶后的微电极系统放入碘和碘化钾的水溶液中，腐蚀掉微电极系统，只在基底上保留了图案化的银结构。