[发明专利]多功能薄膜材料动态力学分析仪及其分析方法

摘要

多功能薄膜材料动态力学分析仪及其分析方法，该分析仪是由上部腔体和下部腔体构成，所述的下部腔体通过支撑架活动设置在底座上；所述的下部腔体固定在丝杆上，并通过丝杆来带动下部腔体作上下运动来改变测量的环境；所述的上部腔体和下部腔体相结合后形成真空腔体。该方法是通过静电激发的方式，在一定频率范围、温度范围和真空气氛下，采用强迫振动测量模式和自由衰减模式两种方式，驱动待测试样和参考试样或对比试样同时进行机械振动，通过高频载波获取试样的振幅，经过运算获得薄膜的模量和内耗。

主权项

多功能薄膜材料动态力学分析仪，其特征在于：该分析仪是由上部腔体和下部腔体构成，所述的下部腔体通过支撑架活动设置在底座上，所述的上部腔体顶部设有真空转接头，其侧面设有气阀，所述的上部腔体内部中间位置设有试样支架，在所述的上部腔体内部的试样支架旁还设有一根热电偶；所述的下部腔体固定在丝杆上，并通过丝杆来带动下部腔体作上下运动来改变测量的环境，在所述的下部腔体一侧的上方设有冷却管出口，其下方设有冷却管进口，所述的下部腔体内壁设有螺旋状冷却管，所述的冷却管一端与冷却管出口相连，另一端与冷却管进口相连；所述的试样支架呈中空的长方体，其上方开有三个扁平的通孔，下方开两个扁平的通孔，在所述的试样支架上方的扁平通孔内安插有三根金属条，其中，中间的金属条为激发极，两边的金属条为检测极；所述试样支架下方的扁平通孔内安插有待测试样和参考试样。