[发明专利]监控装置、监控方法及气相沉积设备

摘要

本发明公开了一种监控装置、监控方法及气相沉积设备，该监控装置用于监控气相沉积设备中的加热单元，加热单元利用电阻丝进行加热，该监控装置包括：检测单元，用于获得所述加热单元的实时电阻值；比较单元，用于获得所述实时电阻值与参考电阻值的比较结果；报警单元，用于根据所述比较结果，判断是否发出报警信号。该监控装置在加热单元发生异常情况例如断路或短路时，及时发出报警信号通知技术人员此刻的加热单元处于异常状态，以便技术人员及时掌握加热单元的正常与否，进而及时排除气相沉积设备的故障，减少产品的报废，提高产品的良率。

主权项

一种监控装置，用于监控气相沉积设备中的加热单元，所述加热单元利用电阻丝进行加热，其特征在于，该监控装置包括：检测单元，用于获得所述加热单元的实时电阻值；比较单元，用于获得所述实时电阻值与参考电阻值的比较结果；报警单元，用于根据所述比较结果，判断是否发出报警信号。