[发明专利]传感器模块、力检测装置以及机器人

摘要

本发明提供传感器模块、力检测装置以及机器人。传感器模块具备第一部件，其具有供具备电极的压电体元件配置的第一凹部；与第一部件接合的第二部件；与第二部件接触的第一板；与第一部件接触的第二板；以及紧固第一板以及第二板的紧固部，第一板形成有朝向第二部件突出的第一凸部，第一部件的第一凹部的内部高度比压电体元件高，压电体元件与第二部件接触。

主权项

一种传感器模块，其特征在于，具备：传感器元件，其层叠压电体与电极而形成；第一部件，其具有供所述传感器元件配置的第一凹部，由基底部件和侧壁部件构成；第二部件，其周边部与所述第一部件的所述侧壁部件的上表面接合，且密封所述第一部件的所述第一凹部；第一板，其与所述第二部件接触；第二板，其与所述第一部件接触；以及紧固部，其能够紧固所述第一板以及所述第二板，从所述第一部件与所述传感器元件的接触面至所述第一部件与所述第二部件接合的面的尺寸形成为比所述传感器元件的在所述压电体与所述电极层叠的方向上的尺寸大，在所述第一板，设有朝向所述第二部件突出、且与所述第二部件接触的第一凸部，所述传感器元件与所述第二部件接触。