[发明专利]传感器元件、传感器器件以及电子设备在审
| 申请号： | 201310072634.3 | 申请日： | 2013-03-07 |
| 公开（公告）号： | CN103308040A | 公开（公告）日： | 2013-09-18 |
| 发明（设计）人： | 浅利友隆 | 申请（专利权）人： | 精工爱普生株式会社 |
| 主分类号： | G01C19/56 | 分类号： | G01C19/56 |
| 代理公司： | 北京三友知识产权代理有限公司 11127 | 代理人： | 李辉;于英慧 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 传感器元件、传感器器件以及电子设备。传感器元件（2）具备：基部（21）；从基部（21）延伸的检测用振动臂（23）；设置于检测用振动臂（23），对检测用振动臂（23）的屈曲振动进行检测的检测部（41、42），检测部（41、42）具有：第1电极层；相对于第1电极层设置于与检测用振动臂（23）相反侧的第2电极层；以及设置于第1电极层与第2电极层之间的压电体层，检测部（41、42）具有设置成跨越检测用振动臂（23）与基部（21）的边界部的部分（414、424），该部分（414、424）进行屈曲或弯曲，以沿检测用振动臂（23）和基部（21）的侧面在包含与检测用振动臂（23）的延伸方向垂直的方向分量的方向上延伸。 | ||
| 搜索关键词： | 传感器 元件 器件 以及 电子设备 | ||
【主权项】：
一种传感器元件，其特征在于，该传感器元件具有：基部；从所述基部延伸的振动臂；以及检测部，其设置于所述振动臂和所述基部，检测所述振动臂的屈曲振动，所述检测部具有第1电极层、第2电极层、和设置于所述第1电极层与所述第2电极层之间的压电体层，所述检测部以沿着所述振动臂和所述基部的侧面在包含与所述振动臂的延伸方向垂直的方向分量的方向上延伸的方式进行屈曲或弯曲。
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