[发明专利]低温泵系统、低温泵系统的运行方法以及压缩机单元有效
| 申请号： | 201310073415.7 | 申请日： | 2013-03-07 |
| 公开（公告）号： | CN103306936A | 公开（公告）日： | 2013-09-18 |
| 发明（设计）人： | 松井孝聪 | 申请（专利权）人： | 住友重机械工业株式会社 |
| 主分类号： | F04B37/08 | 分类号： | F04B37/08;F04B49/00 |
| 代理公司： | 广州三环专利代理有限公司 44202 | 代理人： | 温旭;郝传鑫 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明提供一种低温泵系统、低温泵系统的运行方法以及压缩机单元，其由适当的工作气体压力运行。本发明的低温泵系统（100）具备：低温泵（10），用于执行包括从室温向超低温降温的准备运行和超低温的真空排气运行；低温泵（10）用的工作气体的压缩机单元（50）；气体管路（72），连接低温泵（10）和压缩机单元（50）；气体容量调整部（74），构成为与准备运行相比增加真空排气运行时的气体管路（72）的工作气体量；及控制装置（110），用于控制压缩机单元（50），以便对气体管路（72）提供压力控制。 | ||
| 搜索关键词： | 低温泵 系统 运行 方法 以及 压缩机 单元 | ||
【主权项】：
一种低温泵系统，其特征在于，具备：低温泵，用于执行准备运行和超低温的真空排气运行，其中所述准备运行包括从室温向超低温的降温；所述低温泵用的工作气体的压缩机；气体管路，连接所述低温泵和所述压缩机；气体容量调整部，构成为与所述准备运行相比增加所述真空排气运行时的所述气体管路的工作气体量；及控制装置，用于控制所述压缩机，以便对所述气体管路提供压力控制。
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