[发明专利]压力传感器

摘要

本发明的压力传感器（10）包括检测第一压力变动传感器(P1)（11a）和第二压力变动传感器(P2)（11b）的输出的差值的检测电路。第一压力变动传感器(P1)（11a）和第二压力变动传感器(P2)（11b），作为至少根据腔（21）的容量（V）或者间隙（23）的距离（G）而在实效上相同的频率特性，具有灵敏度为既定值以上的下限频率。第一压力变动传感器(P1)（11a）的间隙（23）将压力传感器（10）的外部与第一压力变动传感器(P1)（11a）的腔（21）的内部连通，第二压力变动传感器(P2)（11b）的间隙（23）将第一压力变动传感器(P1)（11a）的腔（21）的内部与第二压力变动传感器(P2)（11b）的腔（21）的内部连通。从而，降低检测误差和扰动所导致的振动等，得到期望的频率特性。

主权项

一种压力传感器，其特征在于，包括：第一压力变动传感器和第二压力变动传感器；以及检测部，检测所述第一压力变动传感器和所述第二压力变动传感器的输出的差值，所述第一压力变动传感器和所述第二压力变动传感器分别具有：腔，由开口构成；悬臂，形成为在从基端侧朝向前端侧的方向延伸的板状，具有在所述腔的开口端以悬臂状态被支持的基端部和由自由端构成的前端部，根据所述腔的内部与外部的压力差而弯曲变形；间隙，设在所述悬臂的所述前端部与所述腔的开口端之间，将所述腔的内部与外部连通；以及变形检测部，检测所述悬臂的弯曲变形并输出检测结果的信号，所述第一压力变动传感器和所述第二压力变动传感器，作为至少根据所述腔的容量或者所述间隙的距离而在实效上相同的频率特性，具有所述第一压力变动传感器和所述第二压力变动传感器的灵敏度为既定值以上的下限频率，所述第一压力变动传感器的所述间隙将2个压力变动传感器的所述腔的外部与所述第一压力变动传感器的所述腔的内部连通，所述第二压力变动传感器的所述间隙将所述第一压力变动传感器的所述腔的内部与所述第二压力变动传感器的所述腔的内部连通。