[发明专利]板状物的磨削方法

摘要

本发明提供一种板状物的磨削方法，能够抑制在使支承部件从磨削得较薄的板状物剥离时的板状物的破损。其构成为具备：载置工序，对形成为能够通过来自外部的力而弯曲的厚度的由金属制成的支承部件（S）的表面（S1）和板状物（W）的表面（W1）的至少一方涂敷光硬化树脂（R），使板状物的表面与支承部件的表面相对地进行载置；固定工序，隔着板状物对光硬化树脂照射紫外线（UV）从而将板状物固定于支承部件上；薄化工序，以保持工作台（41）保持支承部件侧，并对板状物的背面进行磨削以使其变薄至预定厚度；以及除去工序，对光硬化树脂进行加热或加水以使其软化，保持板状物的磨削面（W3），使支承部件和光硬化树脂弯曲而从板状物剥离。

主权项

一种板状物的磨削方法，所述板状物的磨削方法是对粘贴在支承部件上的板状物的背面进行磨削以使其变薄至预定厚度的方法，所述板状物的磨削方法的特征在于，所述板状物的磨削方法包括：板状物载置工序，在该板状物载置工序中，对所述板状物的表面和由金属制成的支承部件的表面中的至少一方涂敷光硬化树脂，使所述板状物的表面与所述支承部件的表面面对，按压所述板状物，直至使所述板状物埋没于所述光硬化树脂且所述光硬化树脂在所述板状物的整个外周的范围隆起至所述板状物的背面，由此载置所述板状物，所述由金属制成的支承部件形成为能够通过来自外部的力而弯曲的厚度；板状物固定工序，在该板状物固定工序中，在实施了所述板状物载置工序后，隔着所述板状物对所述光硬化树脂照射紫外线，从而将所述板状物固定至所述支承部件上；薄化工序，在该薄化工序中，在实施了所述板状物固定工序后，通过保持工作台来保持所述支承部件侧，并对所述板状物的背面进行磨削以使其变薄至所述预定厚度；以及除去工序，在该除去工序中，在实施了所述薄化工序后，对所述光硬化树脂进行加热或加水以使其软化，保持所述板状物的磨削面，使所述支承部件和光硬化树脂弯曲而从所述板状物剥离。