[发明专利]用于在CMOS图像传感器中玻璃去除的方法和装置

摘要

本发明提供了用于在形成CMOS图像传感器的同时去除玻璃的方法。提供了用于形成器件的方法，包括在器件晶圆上形成多个像素阵列；将载具晶圆接合至器件晶圆的第一面；在器件晶圆的第二面的上方接合衬底；减薄载具晶圆；形成与器件晶圆的第一面的电连接件；然后，使衬底与器件晶圆的第二面分离；以及随后从器件晶圆分割出多个像素阵列的单独像素阵列。公开了一种装置。本发明还提供了用于在CMOS图像传感器中玻璃去除的方法和装置。

主权项

一种用于形成图像传感器件的方法，包括：在器件晶圆上形成多个像素阵列；将衬底接合至所述器件晶圆；减薄所述器件晶圆；在将所述衬底接合至所述器件晶圆之后，在所述器件晶圆上形成电连接件；使所述衬底与所述器件晶圆分离，从而使光线直接入射至所述图像传感器件的微透镜材料；以及然后，从所述器件晶圆分割出所述多个像素阵列中的各个像素阵列。