[发明专利]一种粘接式氮化硼-石墨组合蒸发舟及其制作方法有效
| 申请号： | 201310081697.5 | 申请日： | 2013-03-15 |
| 公开（公告）号： | CN103114268A | 公开（公告）日： | 2013-05-22 |
| 发明（设计）人： | 黄向东;曹志冠 | 申请（专利权）人： | 福州赛瑞特新材料技术开发有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/26 | 分类号： | C23C14/26;C23C14/14;C04B35/582;C04B35/583;C04B35/5835 |
| 代理公司： | 福州元创专利商标代理有限公司 35100 | 代理人： | 蔡学俊 |
| 地址： | 350002 福建省福*** | 国省代码： | 福建;35 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种粘接式氮化硼-石墨组合蒸发舟，包括自上而下依次层叠的陶瓷舟和石墨发热体，所述陶瓷舟是以热压氮化硼陶瓷或热压氮化硼基复合陶瓷制备成带蒸发槽的舟体，所述石墨发热体是采用高纯细晶石墨制备而成，所述陶瓷舟和石墨发热体之间设有粘胶以粘合成蒸发舟。同时，本发明还涉及一种粘接式氮化硼-石墨组合蒸发舟的制作方法。该粘接式氮化硼-石墨组合蒸发舟具有制作工艺简单、产品性能优良且使用寿命更长等优点，可以将被蒸发铝液与发热元件绝缘开来，大幅降低铝液飞溅，提高膜材质量，具有显著的经济和社会效益。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 粘接式 氮化 石墨 组合 蒸发 及其 制作方法 | ||
【主权项】：
一种粘接式氮化硼‑石墨组合蒸发舟，其特征在于：包括自上而下依次层叠的陶瓷舟和石墨发热体，所述陶瓷舟是以热压氮化硼陶瓷或热压氮化硼基复合陶瓷制备成带蒸发槽的舟体，所述石墨发热体是采用高纯细晶石墨制备而成，所述陶瓷舟和石墨发热体之间设有粘胶以粘合成蒸发舟。
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