[发明专利]一种多层金属光栅的制备方法无效
| 申请号： | 201310081929.7 | 申请日： | 2013-03-14 |
| 公开（公告）号： | CN103149615A | 公开（公告）日： | 2013-06-12 |
| 发明（设计）人： | 叶志成 | 申请（专利权）人： | 上海交通大学 |
| 主分类号： | G02B5/18 | 分类号： | G02B5/18;G03F7/00 |
| 代理公司： | 上海新天专利代理有限公司 31213 | 代理人： | 张泽纯 |
| 地址： | 200240 *** | 国省代码： | 上海;31 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明涉及一种多层金属光栅的制备方法，包括步骤：制备或选取压印模板；在衬底上表面旋涂压一层压印胶；在压印胶的表面镀一金属层；在金属层上表面涂一层保护膜；将压印模板放置在保护膜上表面进行纳米压印；对压印胶进行固化处理后，移去压印模版，得到双层或多层金属光栅。本发明不仅省略了图形转移的步骤，工艺更简单，成本更低廉，而且由上述方法得到的金属膜不会包覆于图形侧壁而影响透射效率，其截面与压印模具截面形貌严格吻合，与采用传统方法相比，图形的保真度和光栅的TM透射率及偏振抑制比都更高。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 多层 金属 光栅 制备 方法 | ||
【主权项】：
一种多层金属光栅的制备方法，其特征在于，该方法包括如下步骤：1）制备或选取压印模板；2）在衬底上表面旋涂压一层压印胶；3）在压印胶的表面镀一金属层；4）在金属层上表面涂一层保护膜；5）将压印模板放置在保护膜上表面进行纳米压印；6）对压印胶进行固化处理后，移去压印模具。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于上海交通大学，未经上海交通大学许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201310081929.7/，转载请声明来源钻瓜专利网。
