[发明专利]一种光波导及其加工方法无效
| 申请号： | 201310085366.9 | 申请日： | 2013-03-18 |
| 公开（公告）号： | CN103135170A | 公开（公告）日： | 2013-06-05 |
| 发明（设计）人： | 薛列龙 | 申请（专利权）人： | 江苏荣邦微电子有限公司 |
| 主分类号： | G02B6/122 | 分类号： | G02B6/122;G02B6/13 |
| 代理公司： | 南京纵横知识产权代理有限公司 32224 | 代理人： | 周全 |
| 地址： | 225008 江苏省扬州*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 一种光波导及其加工方法。提供了一种在满足高保真、高效率信号传输的前提下，芯片薄，工艺条件友好，加工成本更低的光波导及其加工方法。包括基底上开设的倒梯形沟槽，在沟槽底部设有芯体层，所述芯体层的上部设有覆盖层。在所述基底的顶面以及沟槽的表面上设有抑制层。本发明的加工方法，依次包括覆膜、涂胶光刻、腐蚀窗口内覆膜层和蚀刻基底沟槽工序，然后按以下步骤加工：1）烧结芯体层；在沟槽底部填充玻璃粉一，烧结，冷却，得芯体层；2）烧结覆盖层；在沟槽下部芯体层的顶面填充玻璃粉二，烧结，冷却，得覆盖层。本发明有效降低光器件的生产成本、提高可靠性、改善光传输性能；加快普及宽带以及FTTx建设；推进社会信息化进步。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 波导 及其 加工 方法 | ||
【主权项】：
一种光波导，包括基底上开设的倒梯形沟槽，其特征在于，在沟槽底部设有芯体层，所述芯体层的上部设有覆盖层。
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