[发明专利]相位复原测试过程中消除系统误差的绝对标定方法

摘要

相位复原测试过程中消除系统误差的绝对标定方法，涉及光学测试过程中系统误差的标定领域，该方法通过对不同状态下的测量值进行差值分析，最终消除系统误差，获得真实的波前信息。该方法包括将光学采集系统放置在精密调整机构上，测量相应的波前信息，并将当前位置设为初始位置，再次调整精密调整机构使光学采集系统至不同的位置状态分别进行测量；将不同位置的测量结果使用泽尼克多项式拟合，分别减去初始位置的波前相位测量结果，建立方程，求解泽尼克系数，获得真实的被测波前信息。本发明通过采用绝对标定的方式，完全消除光学放大系统引入的系统误差，实现高精度检测。

主权项

相位复原测试过程中消除系统误差的绝对标定方法，其特征在于，该方法包括如下步骤：步骤一：将光学放大系统和传感器放置在精密调整机构上，调整精密调整机构，测量波前信息，并将此位置设定为初始位置；步骤二：再次调整精密调整机构至以初始位置星点图像的焦面为中心做X方向偏移△x、以初始位置星点图像的焦面为中心做Y方向偏移△y和以初始位置波前光轴为轴旋转Δθ，三个不同的位置并进行测量；步骤三：将不同位置的测量结果使用泽尼克多项式拟合，考虑系统误差的影响，所有波前相位的测量结果由系统误差和真实波前组成；步骤四：将不同位置的三次波前相位测量结果分别减去初始位置的波前相位测量结果，建立方程，利用剪切波前求解方法，求解泽尼克系数，获得真实的被测波前信息。