[发明专利]图案形成方法及其形成装置

摘要

在使用吐出机构部从在规定的位置具有开口部的图案形成用掩模将膏转印到在工作台上固定的被图案形成物的规定的位置的图案形成装置中，为了实现能够高精度地稳定地对微细的图案进行图案形成，并且对微细的通孔的内部也能够可靠地填充膏的图案形成，将吐出机构部前端的与图案形成用掩模接触的角部形成为凹形形状，在包括凹形形状部的吐出机构部的前端部分的表面用具有疏液性的膜来包覆，在向具有期望的图案开口部的图案形成用掩模填充并转印膏时，在用具有疏液性的膜包覆的吐出机构部前端的凹形形状部和图案形成用掩模所形成的区域的内部促进膏的滚压，从而能够高精度地形成微细的图案。

主权项

一种图案形成装置，其特征在于包括：掩模保持部，保持图案形成用的掩模；工作台部，载置要图案形成的试样，并使该试样上下移动而接近/后退所述掩模保持部中保持的所述掩模；膏吐出部，具备经由所述掩模在所述工作台部中载置的试样中形成膏的图案的吐出机构；以及吐出机构驱动部，使该膏吐出部的吐出机构沿着所述掩模往返移动，其中，所述膏吐出单元具备1对所述吐出机构，该1对吐出机构被对向安装，在该对向安装的1对吐出机构中的对图案形成作出贡献的一侧的吐出机构中，相比于在将该1对吐出机构推压到所述掩模时与所述掩模接触的位置针对图案形成时的移动方向在前方形成有凹部，该凹部形成为该凹部的和与所述掩模接触的一侧的端部相反一侧的端部向所述掩模的一侧突出并且在与所述掩模之间隔开间隙，进而所述膏吐出单元具备对所述1对吐出机构之间供给所述膏的膏供给机构。