[发明专利]合成石英玻璃衬底的制造有效
| 申请号： | 201310088370.0 | 申请日： | 2013-02-01 |
| 公开（公告）号： | CN103240665B | 公开（公告）日： | 2018-03-30 |
| 发明（设计）人： | 长谷川良平;松井晴信;原田大实;竹内正树 | 申请（专利权）人： | 信越化学工业株式会社 |
| 主分类号： | B24B37/04 | 分类号： | B24B37/04;C09G1/02 |
| 代理公司： | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所11038 | 代理人： | 李跃龙 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种合成石英玻璃衬底的制造方法。使用含有四方或立方氧化锆的抛光浆料将起始合成石英玻璃衬底的粗糙表面抛光至镜面光洁度。 | ||
| 搜索关键词： | 合成 石英玻璃 衬底 制造 | ||
【主权项】：
一种合成石英玻璃衬底的制造方法，包含将起始合成石英玻璃衬底粗糙表面预抛光至镜面光洁度，然后进行精密抛光，其中使用施加到衬底的包含氧化锆的抛光浆料和聚氨酯垫或无纺垫进行所述预抛光，其中氧化锆含有四方或立方氧化锆，且在全部氧化锆中，四方或立方氧化锆的比例为70‑100％。
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