[发明专利]金红石相二氧化钒薄膜及其制备方法无效
| 申请号： | 201310089152.9 | 申请日： | 2013-03-20 |
| 公开（公告）号： | CN104060247A | 公开（公告）日： | 2014-09-24 |
| 发明（设计）人： | 高彦峰;周家东;罗宏杰;曹传祥;金平实 | 申请（专利权）人： | 中国科学院上海硅酸盐研究所 |
| 主分类号： | C23C20/08 | 分类号： | C23C20/08;C30B7/10;C30B29/16 |
| 代理公司： | 上海瀚桥专利代理事务所(普通合伙) 31261 | 代理人： | 曹芳玲;郑优丽 |
| 地址： | 200050 *** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种金红石相二氧化钒薄膜及其制备方法，所述制备方法包括：将洗净的衬底直接浸入到含四价钒的前驱生长液中并转入高压反应釜内，在260～400℃温度下进行水热反应0.1～96小时，通过衬底的诱导作用在基片上外延生长金红石相二氧化钒薄膜。本发明以衬底的诱导作用进行水热反应直接在衬底上外延生长二氧化钒薄膜，无需退回处理等候处理就能够得到金红石相二氧化钒薄膜的异质结构。 | ||
| 搜索关键词： | 金红石 氧化 薄膜 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
一种金红石相二氧化钒薄膜的制备方法，其特征在于，包括：将洗净的衬底直接浸入到含四价钒的前驱生长液中并转入高压反应釜内，在260～400℃温度下进行水热反应0.1～96小时，通过衬底的诱导作用在衬底上外延生长金红石相二氧化钒薄膜。
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C23 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C20-00 通过固态覆层化合物抑或覆层形成化合物悬浮液分解且覆层中不留存表面材料反应产物的化学镀覆
C23C20-02 .镀金属材料
C23C20-06 .镀金属材料以外的无机材料
C23C20-08 ..镀化合物、混合物或固溶体，例如硼化物、碳化物、氮化物
C23C20-04 ..镀金属
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