[发明专利]振动片及其制造方法、陀螺仪传感器、电子设备及移动体有效
| 申请号： | 201310089719.2 | 申请日： | 2013-03-20 |
| 公开（公告）号： | CN103363973B | 公开（公告）日： | 2019-04-16 |
| 发明（设计）人： | 西泽龙太;中川启史;菊池尊行 | 申请（专利权）人： | 精工爱普生株式会社 |
| 主分类号： | G01C19/5607 | 分类号： | G01C19/5607 |
| 代理公司： | 北京三友知识产权代理有限公司 11127 | 代理人： | 李辉;黄纶伟 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明提供振动片及其制造方法、陀螺仪传感器、电子设备及移动体，能够在不降低输出信号的强度的情况下提高输出信号的S/N比。振动片(15)具备检测用振动臂（26a、26b）。在检测用振动臂(26a、26b)上设置有电极(41a、41b)。与电极(41a、41b)连接着布线(45a、45b)。布线(45a、45b)配置在基部(25)的压电体上。布线(45a、45b)的至少一部分是调整用电极(54a、54b)。调整用电极(54a、54b)生成与检测用振动臂(26a)的泄漏振动的输出信号相反相位的电信号。 | ||
| 搜索关键词： | 振动 及其 制造 方法 陀螺仪 传感器 电子设备 移动 | ||
【主权项】：
1.一种振动片，其特征在于，该振动片具备：基部，其在至少一部分中包含压电体；从所述基部起延伸的驱动用振动臂以及检测用振动臂；一对检测电极，其以预定的间隔并列配置于所述检测用振动臂，取出所述检测用振动臂的泄漏振动的输出信号；以及一对调整用电极，其以预定的间隔并列配置于所述基部的所述压电体上，分别与所述一对检测电极连结，输出与所述检测用振动臂的泄漏振动的输出信号相反相位的电信号，所述一对调整用电极在划定所述预定的间隔的轮廓线上形成有缺口，所述间隔局部地扩大。
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