[发明专利]振动片、陀螺仪传感器、电子设备和移动体

摘要

本发明提供振动片、陀螺仪传感器、电子设备和移动体。作为课题，如果仅通过1对悬臂来支撑基部，则无法最大限度地引起第2振动臂的运动。驱动系统的布线和检测系统的布线混合安装在1对悬臂上，振动片的噪声特性和温度特性劣化。作为解决手段，第1振动臂（26a、26b）从基部（25）起沿着第1方向（D1）延伸。第2振动臂（27a、27b）从基部（25）起沿着第2方向（D2）延伸。第1悬臂（32a、32b）从固定部（19）起延伸，并与基部（25）的第1连接部（34）连接。第2悬臂（33a、33b）从固定部（19）起延伸，并与基部（25）的第2连接部（37）连接。

主权项

1.一种振动片，其特征在于，该振动片具有：基部；第1振动臂，其从所述基部起沿着第1方向延伸；第2振动臂，其从所述基部起沿着与所述第1方向相反的第2方向延伸；固定部，其保持所述基部；第1悬臂，其从所述固定部起延伸，与所述基部的第1连接部连接；1对第2悬臂，它们从所述固定部起，以夹着所述第1悬臂的方式延伸，并与所述基部的第2连接部连接；第1布线，其配置在所述第1悬臂上，与设置在所述第1振动臂上的第1电极连接；以及第2布线，其配置在所述第2悬臂上，与设置在所述第2振动臂上的第2电极连接，所述固定部具有：第1固定片，在该第1固定片上设置有与所述第1布线连接的第1导电端子，并且该第1固定片与所述第1悬臂连接；以及1对第2固定片，在这1对第2固定片上设置有与所述第2布线连接的第2导电端子，并且，这1对第2固定片从所述第1固定片起，以夹着所述第1悬臂的方式延伸，与各个所述第2悬臂连接，将所述第1振动臂和所述第2振动臂中的一方作为驱动用振动臂，将另一方作为检测用振动臂，在所述第1导电端子与所述第2导电端子之间配置有接地端子。