[发明专利]晶片的辅助取片机构、取片系统及取片方法有效
| 申请号： | 201310095195.8 | 申请日： | 2013-03-22 |
| 公开（公告）号： | CN104058257B | 公开（公告）日： | 2017-07-04 |
| 发明（设计）人： | 李萌;张金斌 | 申请（专利权）人： | 北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司 |
| 主分类号： | B65G59/06 | 分类号： | B65G59/06;B65G49/07 |
| 代理公司： | 北京中博世达专利商标代理有限公司11274 | 代理人： | 申健 |
| 地址： | 100026 北*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种晶片的辅助取片机构、取片系统及取片方法，属于半导体晶片加工技术领域。解决了现有技术容易导致电池片或其他晶片无法顺利取出，影响取片效率的技术问题。该晶片的辅助取片机构，包括滑动板和驱动器，所述驱动器用于驱动所述滑动板前后移动，所述滑动板的前端设有滚轴；当晶片的主取片机构托起晶片底部的前端，从装有所述晶片的料盒前侧取出所述晶片时，所述滑动板在所述驱动器的驱动下向前移动至所述料盒后侧的下方，所述滚轴用于托住所述晶片底部的后端。该取片系统包括升降台、主取片机构和上述辅助取片机构。本发明可应用于太阳能电池片的自动化生产。 | ||
| 搜索关键词： | 晶片 辅助 机构 系统 方法 | ||
【主权项】：
一种晶片的辅助取片机构，其特征在于：包括滑动板和驱动器，所述驱动器用于驱动所述滑动板前后移动，所述滑动板的前端设有滚轴；当晶片的主取片机构托起晶片底部的前端，从装有所述晶片的料盒前侧取出所述晶片时，所述滑动板在所述驱动器的驱动下向前移动至所述料盒后侧的下方，所述滚轴用于托住所述晶片底部的后端，所述料盒底部的前端和所述料盒底部的后端均开设有U型缺口。
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