[发明专利]雾化异丙醇基片干燥设备无效

专利信息
申请号: 201310096778.2 申请日: 2013-03-25
公开(公告)号: CN103111436A 公开(公告)日: 2013-05-22
发明(设计)人: 赵国飞;瞿稚华;唐春铭;王飞 申请(专利权)人: 上海旭熠电子技术有限公司
主分类号: B08B3/04 分类号: B08B3/04;F26B21/00
代理公司: 上海东亚专利商标代理有限公司 31208 代理人: 董梅
地址: 201400 上*** 国省代码: 上海;31
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摘要: 发明涉及一种雾化异丙醇基片干燥设备,由电气控制,包括外壳、干燥槽体、异丙醇存放罐、雾化装置和氮气加热器,基片花篮放在密闭的干燥槽体内干燥,其中,所述的雾化装置由喷雾盖、和分别连接喷雾盖和异丙醇存放罐的雾化管道构成,一去静电装置安装在喷雾盖上;所述的干燥槽体内设有顶升支架,上口四面有溢流道,四周板不垂直向内有斜度,槽底有倾斜的孔板,且底部带有纯水进水的注水管和带有可调速排放阀的排水管。本发明的优越性在于:不但可常温雾化干燥基片,而且可去静电,防止基片发生碎片。
搜索关键词: 雾化 异丙醇 干燥设备
【主权项】:
一种雾化异丙醇基片干燥设备,由电气控制,包括外壳、干燥槽体(1)、异丙醇存放罐、雾化装置和氮气加热器(6),基片花篮(9)放在密闭的干燥槽体(1)内干燥,其特征在于,所述的雾化装置由喷雾盖(3)、和分别连接喷雾盖(3)和异丙醇存放罐(7)的雾化管道(5)构成,一去静电装置(4)安装在喷雾盖(3)上;所述的干燥槽体(1)内设有顶升支架(2),上口四面有溢流道(11),四周板不垂直向内有斜度,槽底有倾斜的孔板(8),且底部带有纯水进水的注水管(12)和带有可调速排放阀的排水管(13)。
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