[发明专利]具有微流道结构的单腔双电极放电腔

摘要

本发明涉及一种具有微流道结构的单腔双电极放电腔，其包括腔体、风机和两套主放电电极，腔体包括左右两室，形成对称的双室结构腔形，每个室的截面形状均为上小下大的“梨”形，左右两室在整个放电腔的对称面处交界并连通，两套主放电电极分别位于左右两室的上侧。风机驱动放电腔内的气体经过放电电极进行流动，形成一个主气流，在主气流的流道两侧设置有微流道。本发明通过一个单腔结构实现MOPA、MOPO、MOPRA结构的双腔功能，既降低了系统的复杂性，又保证了放电腔的放电同步性；并且，微流道结构能防止涡旋气流的产生，减少了放电电极侧面产生的位弧现象，增加了放电稳定性，提高了激光能量，延长了预电离电极寿命。

主权项

一种单腔双电极放电腔，包括腔体(1)和位于腔体(1)内的风机和两套主放电电极，其特征在于：所述腔体(1)包括左右两室，以形成对称的双室结构腔形，每个室的截面形状均为上小下大的形状，所述左右两室在整个放电腔的对称面处交界并连通；所述两套主放电电极分别位于左右两室，所述每套主放电电极都包括一个阳极(6)和一个阴极(3)，所述阳极(6)与所述阴极(3)的放电表面之间形成一个放电区(2)，且所述放电区(2)分别位于所述左右两室的上部；所述风机驱动所述放电腔内的气体经过所述放电电极而进行流动，从而形成一个主气流，在所述主气流的流道的两侧存在凹陷区；在所述主气流的流道两侧设置有微流道，所述微流道具有用于气体流入的入口和用于气体流出的出口，所述入口位于所述主气流的下游，所述出口朝向所述凹陷区。