[发明专利]用于在视觉上检测静电放电事件的方法和装置有效
| 申请号： | 201310098369.6 | 申请日： | 2013-03-26 |
| 公开（公告）号： | CN103367328A | 公开（公告）日： | 2013-10-23 |
| 发明（设计）人： | S·P·阿约特;D·J·希尔;J·T·小金尼尔;G·E·理查德;T·M·苏利万;H·M·特鲁阿克斯 | 申请（专利权）人： | 国际商业机器公司 |
| 主分类号： | H01L23/544 | 分类号： | H01L23/544;G09F3/02 |
| 代理公司： | 北京市中咨律师事务所 11247 | 代理人： | 于静;张亚非 |
| 地址： | 美国*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 本发明涉及用于在视觉上检测静电放电事件的方法和装置。方法和结构提供了静电放电（ESD）指示器，所述静电放电ESD指示器包括电场敏感材料，所述电场敏感材料被配置为经受响应于电场的特定颜色改变。可以经由ESD指示器的特定颜色改变来在视觉上确定结构的ESD暴露。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 视觉 检测 静电 放电 事件 方法 装置 | ||
【主权项】：
一种方法，包括：提供包括静电放电（ESD）指示器的结构，所述静电放电（ESD）指示器包括电场敏感材料，所述电场敏感材料被配置为经受响应于电场的特定颜色改变；以及经由所述ESD指示器的特定颜色改变来在视觉上确定所述结构的ESD事件暴露。
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