[发明专利]低成本高导电率的新型金属电极垫片及其制备方法无效
申请号: | 201310099062.8 | 申请日: | 2013-03-26 |
公开(公告)号: | CN103178180A | 公开(公告)日: | 2013-06-26 |
发明(设计)人: | 卢昶鸣;何善良 | 申请(专利权)人: | 合肥彩虹蓝光科技有限公司 |
主分类号: | H01L33/36 | 分类号: | H01L33/36;H01L33/40 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 230012 *** | 国省代码: | 安徽;34 |
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摘要: | 本发明提供了一种低成本高导电率的新型金属电极垫片及其制备方法,该金属电极垫片的结构自下而上依次为衬底、延展层、支撑层和接触层;本发明还涉及前述的金属电极垫片的制备方法,所述制备方法包括如下步骤:步骤1,一次蒸镀处理;步骤2,二次蒸镀处理;步骤3,等离子灰化处理;步骤4,三次蒸镀处理,即可。本发明结构简单,成本低,导电率高,效果明显,方法容易实现,其方法制得的产品不易氧化,延展性好、柔软性能好,有较好的应用前景。 | ||
搜索关键词: | 低成本 导电 新型 金属电极 垫片 及其 制备 方法 | ||
【主权项】:
一种低成本高导电率的新型金属电极垫片,其特征在于,所述金属电极垫片的结构自下而上依次为衬底、延展层、支撑层和接触层。
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